点击图片查看原图pi-P-733.3 XYZ 压电纳米定位器：
带孔径的高精度 XYZ 扫描仪
X、Y 方向的行程范围为 100 µm × 100 µm，Z 方向的行程范围为 10 µm
由于采用电容式传感器，分辨率可达 0.1 nm
带直接驱动的高速版本
可应要求提供超高真空兼容和非磁性版本
并行运动学可实现更高的精度和动态性
用于主动补偿导向误差的并行计量
零间隙、高精度挠性导轨系统
通光孔径 50 mm × 50 mm，适用于透射光应用
pi-P-733.3 XYZ 压电纳米定位器
应用领域
扫描显微镜
共聚焦显微镜
掩模/晶圆定位
表面测量技术
纳米压印
显微操作
图像处理/稳定
具有高平面度和运动直线度的纳米定位
具有电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，无需接触。它们保证出色的运动线性度、长期稳定性和 kHz 范围内的带宽。
自动配置和快速组件更换
机械和控制器可以根据需要组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械装置 D-sub 连接器的 ID 芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。
得益于 PICMA® 压电执行器，使用寿命长
获得专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这可以保护它们免受因漏电流增加而导致的潮湿和故障的影响。PICMA® 执行器的使用寿命比传统的聚合物绝缘执行器长十倍。已证明 1000 亿次循环无一次故障。
零间隙挠性导轨实现高导向精度
挠性导轨免维护、免摩擦和免磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且它们对冲击和振动不敏感。它们 100% 真空兼容，可在很宽的温度范围内工作。
由于平行位置测量，在纳米范围内具有高跟踪精度
所有的自由度都是根据一个单一的固定参考来测量的。轴之间不需要的串扰可以实时（取决于带宽）主动补偿（主动引导）。即使在动态操作中，也能在纳米范围内实现高跟踪精度。
pi-P-733.3 XYZ 压电纳米定位器
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